Optimizacija sklopa med visokofrekvenčnim generatorjem in nizkotlačno plazmoZaplotnik, Rok (Avtor) Mozetič, Miran (Mentor) Vesel, Alenka (Komentor) plazemski reaktorjiplazemske razelektritvenizkotlačna plazmajedkanje depozitovR. Zaplotnik20122026-04-10 15:11:53Doktorska disertacija13602UDK: 533.9:621.039.5(043.3)COBISS_ID: 262624000sl